WOL专业承接 CAM洁净车间设计装修

一、功能分区 & 洁净等级规划

按照工艺流程洁净梯度递减布局，空气由高洁净区流向低洁净区

1. 光刻区：背景 ISO‑5 (百级)，设备内部局部层流 ISO‑4，独立密闭房间、黄光环境，垂直层流 FFU 送风，最高正压区

2. 精密键合 / 贴合区：ISO‑6（千级），芯片对位、封合作业

3. 普通封装组装区：ISO‑7（万级）

4. 探针精密测试区：ISO‑7；成品常规测试、包装区 ISO‑8（十万级）

5. 辅助缓冲区：物料拆包、更衣、设备维修、化学品暂存 ISO‑8

相邻不同洁净等级房间之间设置双门互锁缓冲气闸，严禁房间直接开门互通

二、平面动线布局要点

1、四流分离：人流、物流、工艺流、废物流独立通道，无交叉折返- 人流：普通区→一更→缓冲→风淋→二更泄压廊道→洁净气闸→生产区；风淋出口不能直对洁净大门，预留缓冲空间消化高速气流扰动，廊道独立回风，不从生产区取回风- 物料：外暂存→外包装拆除→货淋 / 物料缓冲→洁净暂存→工艺区- 工艺流：光刻→封装→测试单向流转- 废物流：密闭收集→负压废弃物缓冲→专用通道出厂区，不得穿越高洁净工艺区2、压差梯度：光刻区＞封装区＞测试区＞外围辅助区，相邻洁净房间压差≥5Pa

三、围护装修工程标准

1、墙体吊顶：A 级防火防静电玻镁净化板，板缝打密封胶，所有阴阳角 R50 圆弧过渡，消除积尘死角2、地面- 高洁净生产区：防静电环氧自流平，表面电阻 10⁶‑10⁹Ω；精密设备可采用防静电高架地板- 清洗间、湿法区域：地面坡度 1.5%‑2%，齐平式密闭洁净地漏，无积水残留3、门窗：气密洁净门、双层中空固定观察窗，门扇加装密封条、升降扫地条，保证整体气密性4、管线穿墙吊顶加装套管，缝隙防火密封胶封堵，杜绝漏风漏尘

四、暖通净化 & 气流组织

1、高洁净工位垂直层流 FFU 系统，三级过滤 G4+F8+H13 超高效过滤器2、独立新风、回风、排风系统，更衣风淋缓冲廊道设置独立回排风，减少开门扰动对工艺区层流冲击3、精准压差自动控制系统，实时监控房间压差

五、四大环境专项控制（CAM 车间核心）

1、颗粒管控：分级净化、密闭围护、人员物料缓冲、减少车间内部产尘2、微震动防控：光刻、键合、探针设备配置独立防震基座；风机水泵空压机远离精密工艺区，隔断结构震动传递3、恒温恒湿：常规 22±2℃、湿度 40%‑60% RH；光刻精密工序缩小温湿度波动范围，避免基板形变、光刻胶工艺异常4、全域防静电：防静电地坪、完整接地系统、防静电工装，关键点位配置离子风机，防止静电击穿元器件、静电吸附粉尘

六、电气、消防配套

1、洁净嵌入式 LED 防尘灯具，生产工作面照度≥300lx，检测区域≥500lx2、精密仪器与普通插座配电回路分开，独立接地3、洁净区隐蔽式消防喷淋、烟感，风管防火阀，满足电子洁净厂房消防规范

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